Der Dimer kommt nun in die Pyrolyse Zone, welche eine konstante 680 Grad Celsius hat, und diese hohe Temperatur teilt den Dimer in zwei bivalente radikale Monomere.

Die Monomer Molekuele kommen nun in die Ablagerungskammer und reformieren sich als langkettiger Polymer an allen Oberflaechen innerhalb der Kammer.

Studien zeigen, dass jedes Molekuel durchschnittlich 10,000 Aufshlaege macht, und wegen des kurzen freiweg des molekularen dampfes (unter 1 mm) formt sich der Ueberzug langsam und einheitlich ueber die Oberflaechen, scharfen Kanten und tiefen Fissuren, ohne Nadelloecher.

Die Kammerwaende bekommen einen besonderen Schutzueberzug der nach dei- bis vier-facher Benuetzung abgeschaelt wird.

Das Kuehlungssystem wird zwisch der Ablagerungskammer und der Vakuumpumpe angewandt. Der Zweck des Kuehlungssystems ist zweifaeltig:

1. Es verhuetet dass Parylene Molekuele die sich noch nicht in der Ablagerungskammer deponiert haben in di Vakuumpumpe kommen und.
   
2. Es verhuetet das Zurueckfliessen-Phenomen von Oel-Molekuelen in die Ablagerungskammer. Das kuehlungssystem muss woechentlich von Parylene und Oelfilm gereinigt werden