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Proceso
El proceso Parylene comprende varios aspectos. Después de
una limpieza, activación y enmascaramiento adecuados, el producto a
ser revestido se coloca en la cámara de deposición. El producto permanecerá a
temperatura ambiente durante el proceso de revestimiento. El dimero es colocado
en el tubo de vidrio en el extremo opuesto de la cámara de deposición en
una copa de papel de aluminio denominada «bote». El espesor del revestimiento
está controlado por la cantidad de dimero sin procesar colocada en el bote.
Generalmente, éste se pesa en gramos.
Se coloca una tapa de extremo sobre el tubo y se inicia el proceso. El calentador radiante del vaporizador realiza ciclos de encendido y apagado con un interbloqueo de seguridad de presión para asegurar la operación dentro de límites seguros; el dimero cambia de sólido a vapor y las moléculas descienden en el tubo debido a la presión reducida en el extremo opuesto. A continuación, el dimero se desplaza hacia la zona de pirólisis, cuya temperatura es 680 grados Celsius. La temperatura elevada separa el dimero en dos monómeros radicales divalentes. Las moléculas monoméricas entran en la cámara de deposición y se reordenan como un polímero de cadena larga en todas las superficies dentro de la cámara. Los estudios muestran que cada molécula sufre un promedio de 10,000 colisiones y que debido a la corta trayectoria libre media del vapor de la molécula (menos de 1 mm) el revestimi agudos y hendiduras sin agujeros finos. Las paredes de la cámara están recubiertas con un agente de desprendimiento para evitar que la película f criogénica entre entre la cámara de deposición y la bomba de vacío. El uso de este dispositivo es doble:
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